我們都知道近幾年來美國限制了荷蘭對中國光刻機(jī)的出口,目前僅有一種光刻機(jī)能出口給中國,那么是幾納米的呢?我們一起看看吧。

目前asml的官網(wǎng)主要出售的光刻機(jī)有三款型號(hào),分別是NXT:2050i,NXT:2000i,NXT:1980Di,在這里面目前只有最低端的1980Di允許出售給中國,1980Di型號(hào)的DUV光刻機(jī)單次曝光精度為38nm,在多次曝光工藝下,能將芯片制程縮小到7nm。但是多次曝光費(fèi)用和技術(shù)也隨之上升,所以雖然我們能買到1980Di,但是想用其生產(chǎn)出7nm的芯片,還是很難。
臺(tái)積電曾經(jīng)用這種光刻機(jī)量產(chǎn)了7nm的芯片,目前以我們的水平,想通過這個(gè)光刻機(jī)量產(chǎn)7nm的芯片還是比較困難。我國目前能量產(chǎn)的光刻機(jī)是上海微電子的光刻機(jī),28nm的光刻機(jī)也出來了,只是還沒能達(dá)到量產(chǎn)的水平。
asml向中國出售光刻機(jī)是幾納米的?相信大家也知道答案是38nm了,但是這個(gè)數(shù)字并不能代表光刻機(jī)的最終性能水平,畢竟光刻機(jī)的性能除了分辨率還包括曝光速度、穩(wěn)定性、精度等多個(gè)方面。而且即便是最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),也只能制造出5納米級(jí)別的芯片,距離3納米的制程還有一段距離。不過,我們相信在中國科技人員的不懈努力下,未來一定能夠生產(chǎn)出更加先進(jìn)的光刻機(jī),推動(dòng)我國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,讓我們期待更美好的未來!