一、閾值電壓的定義
閾值電壓:若在一定的偏置電壓下,溝道(反型層)內(nèi)的載流子濃度與襯底載流子濃度相等,則認為此時的偏置電壓為閾值電壓。通常將傳輸特性曲線中輸出電流隨輸入電壓改變而急劇變化轉(zhuǎn)折區(qū)的中點對應(yīng)的輸入電壓稱為閾值電壓。在描述不同的器件時具有不同的參數(shù)。如描述場發(fā)射的特性時,電流達到10mA時的電壓被稱為閾值電壓。
比如常見的mos管,當器件由耗盡向反型轉(zhuǎn)變時,要經(jīng)歷一個si表面電阻濃度等于空穴濃度的狀態(tài),此時器件處于臨界導通狀態(tài),器件的柵電壓定義為閾值電壓,它是MOSFET的重要參數(shù)之一;如描述場發(fā)射的特性時,電流打到10mA時的電壓被稱為閾值電壓。
二、閾值電壓影響因素
一個特定的晶體管的閾值電壓有很多影響因素,比如背柵的摻雜,電介質(zhì)的厚度,柵極材質(zhì)和電介質(zhì)中的過剩電荷。
1、背柵的摻雜
backgate的摻雜是決定閾值電壓的主要因素。如果背柵摻雜越多,它的反轉(zhuǎn)就越難。如果想要反轉(zhuǎn)就要更強的電場,閾值電壓就上升了。MOS管的背柵摻雜能通過在介電層表面下的稍微的implant來調(diào)節(jié)。這種implant被叫做閾值調(diào)整implant(或Vt調(diào)整implant)。如果implant是由受主組成的,那么硅表面反轉(zhuǎn)就更難,閾值電壓因此會升高。如果implant是由受主組成的,那么硅表面反轉(zhuǎn)會更容易,閾值電壓降低。如果注入的donors夠多,硅表面實際上就反向摻雜了。所以,在零偏置下就有了一薄層N型硅來形成永久的溝道。隨著柵極偏置電壓的升高,溝道變得越來越強的反轉(zhuǎn)。隨著柵極偏置電壓的下降,溝道變的越來越弱,最后消失了。這種NMOS管的閾值電壓實際上是負的。這樣的晶體管稱為耗盡型NMOS。
2、電介質(zhì)
電介質(zhì)在決定閾值電壓方面起了重要性作用。厚電介質(zhì)由于比較厚而削弱了電場。所以厚電介質(zhì)使閾值電壓升高,而薄電介質(zhì)使閾值電壓降低。理論上來講,電介質(zhì)成分也會改變電場強度。但實際情況來講,幾乎所有的MOS管都用純sio2作為gate dielectric。這種物質(zhì)可以以極純的純度和均勻性生長成特別薄的薄膜;其他物質(zhì)跟它都不能比。
3、柵極的物質(zhì)成分
柵極的物質(zhì)成分對閾值電壓也會有所影響的。當GATE和BACKGATE短接時,電場就施加在gate oxide上。這主要是因為GATE和BACKGATE物質(zhì)之間的work function差值引起的。幾乎所有數(shù)實際應(yīng)用的晶體管都用重摻雜的多晶si作為柵極。改變多晶硅的摻雜程度就能控制它的work function。
4、介電層與柵極界面上過剩的電荷
GATE OXIDE或氧化物和硅表面之間界面上過剩的電荷也會影響閾值電壓。這些電荷中有離子化的雜質(zhì)原子,捕獲的載流子,或結(jié)構(gòu)缺陷。電介質(zhì)或者是它表面捕獲的電荷會影響電場并進一步影響閾值電壓。如果被捕獲的電子隨著時間,溫度或偏置電壓而變化,那么閾值電壓也會隨之變化。
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【本文標簽】 閾值電壓
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